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南大、东南大学Nature发文:双层纳米新材料引领晶体管飞跃,领先路线图整6年!

2022-05-18 21:29187400
MoS₂是个啥玩意?
二硫化钼,黑色固体粉末,有金属光泽,是重要的固体润滑剂……
最最最关键地是,它是新型的二维纳米材料,在晶体管方面有巨大潜力。
堪比石墨烯!
就在几天前的5月4日,南京大学、东南大学等联合在Nature发表论文,研究双层二硫化钼的可控生长机理取得重要突破。
论文地址:https://www.nature.com/articles/s41586-022-04523-5
论文地址:https://www.nature.com/articles/s41586-022-04523-5
双层可控均匀生长
现有研究表明,过渡金属硫化物是后硅基时代的重要研究领域。
与单分子膜相比,双分子膜具有良好的静电控制、更小的带隙和更高的迁移率。
而且,双层膜有可能改善晶体管的能量延迟。
然而,尽管单层膜的生长取得了进展,但多层膜的可控外延生长仍然是一个巨大的挑战。
研究通过对C面蓝宝石上单层与双层MoS2生长的热力学分析,认为双层二硫化钼在C面蓝宝石上的均匀成核(>99%)。
基于双层膜MoS₂通道在迁移率和电流密度性方面比单层膜有了显著改善。
团队通过计算模拟指出,蓝宝石C面六层台阶(~1.4 nm)与双层MoS2厚度匹配,存在较强的界面相互作用,能够引导双层MoS2上下两层的同时成核与肩并肩生长。
基于这一机制,研究实现了厘米级均匀双层MoS2层数可控外延生长。
基于双层MoS2通道的场效应晶体管(FET)器件,在迁移率(高达122.6 cm2 V−1 s−1)和电流密度(1.27 mA μm-1)方面,相比于单层MoS2的FET器件有了显著的改善,并超过了高性能FETs的2028路线图目标。
研究团队
均匀双层二硫化钼薄膜外延生长,这项技术的背后有着一个怎样的研究团队?
此项研究由南京大学电子学院王欣然教授主导。
王欣然教授2004年本科毕业于南京大学,2010年获美国斯坦福大学物理学博士学位,现为南京大学电子科学与工程学院、固体微结构国家重点实验室教授、博士生导师。
近年来,他的主要研究兴趣在开展二维材料与信息器件的研究,2011年入选国家首批「青年计划」,2013年获国家杰出青年基金资助,2014年获江苏省五四青年奖章。
论文的合作研究者还有东南大学王金兰教授。
她先后获江苏省杰出青年学者、国家自然科学基金杰出青年学者、东南大学特聘教授。
目前,她的主要研究兴趣在低维材料的物理化学性质的理论研究。
还有其它18名研究成员均为南京大学或东南大学师生。
正如,王欣然教授在2016年接受采访时所言,「过去半个多世纪以来,以硅基集成电路为基础的信息技术得到了飞速的发展,晶体管尺寸正在接近物理极限,「后摩尔时代」即将到来。」
他认为,「二维材料具有极限沟道厚度、高迁移率、能带可调控等特点,是最有希望在微电子和光电子领域引发革命的材料之一。」
他当时就希望,能够构筑具有颠覆性的电子、光电、量子集成器件,并最终实现应用。
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