生产半导体器件专用设备；薄膜工艺、等离子、超高真空的技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；销售机械设备。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）