工程和技术研究和试验发展;其他未列明通用设备制造业;半导体器件专用设备制造;半导体材料生产设备制造;电池生产专用设备制造;集成电路生产设备制造;集成电路封装;测试设备制造;平板显示器件生产设备制造;薄膜太阳能电池片制造设备制造;晶硅太阳能电池片制造设备制造;微机电系统生产设备制造;...货物或技术进出口