研究、开发、设计、生产、装配半导体制造和类似工业制造过程中用以测量、控制和分析气体的高新技术精密仪器、组件、子系统和产生活性气体的产品、电子专用设备、仪器、电源供应器、电源测量仪器、电子元器件、电子工业专用设备、实验分析仪器、电子测量仪器、光学仪器、电工仪器仪表及上述产品的零部件；激光系统及其组件的...