半导体制造设备、太阳能设备及其他清洁能源、节能设备、平板显示器制造设备及其他纳米技术新产品及相关零部件的工程设计、开发、改进、生产制造、维修、翻新、清洗和销售自产产品；上述设备、产品的相关制造工艺和应用技术、控制软件、工艺流程控制软件及相关生产自动化软件的研发、应用和许可转让；上述相关的技术服务、...